LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)市場(chǎng)
隨著化合物半導(dǎo)體技術(shù)的日益成熟和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程的加快,外延技術(shù)需要的超純特種氣體和有機(jī)源的研制和制造技術(shù)不斷提升。主要表現(xiàn)在:氣體和有機(jī)源的深度純化技術(shù);氣瓶及管路內(nèi)壁的潔凈處理技術(shù);ppm、ppb、ppt氣體雜質(zhì)檢測(cè)技術(shù);ppb、ppt級(jí)金屬雜質(zhì)的凈化控制及分析檢測(cè)技術(shù);排放尾氣的解1毒報(bào)警技術(shù);一體化無(wú)污染供氣系統(tǒng)的建立;特種氣體混合氣的配制技術(shù);配套器件技術(shù)以及0.01~0.002μm顆粒的測(cè)試過(guò)濾技術(shù)等。為了適應(yīng)日益發(fā)展的下游產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需要,特種氣體生產(chǎn)商在產(chǎn)品純化、灌裝、檢測(cè)等環(huán)節(jié)取得更多的創(chuàng)新技術(shù)。

隨著近年來(lái)國(guó)防工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè),特別是微電子技術(shù)的發(fā)展,特種氣體行業(yè)新興起來(lái)。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門類,特種氣體廠家直銷,從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類。
近年來(lái),隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展,特種氣體的品種也與日俱增,鄭州特種氣體,據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),我國(guó)已有的特種氣體達(dá)260余種。隨著非低溫氣體分離技術(shù)(吸附、膜分離)、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展,特種氣體批發(fā),更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場(chǎng)。電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅1烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等),碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙1烷等)。目前,我國(guó)電子氣體品種基本齊全,但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達(dá)國(guó)家相比,尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展,對(duì)電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。

特種氣體產(chǎn)品供應(yīng)有代表性的公司為美國(guó)Air Product、Praxair、德國(guó)Linder、法國(guó)AirLiquid、日本酸素等,特種氣體哪家好,這些公司的產(chǎn)品在國(guó)際電子氣體的市場(chǎng)占有主要份額。國(guó)內(nèi)特種氣體的研究開發(fā)取得了一定的成績(jī),形成產(chǎn)業(yè)化的還很少,使得絕大多數(shù)產(chǎn)品仍然依賴進(jìn)口。在國(guó)家“863”項(xiàng)目的支持下,公司生產(chǎn)的高純氨產(chǎn)品純度99.99999%以上,可以替代進(jìn)口產(chǎn)品,應(yīng)用在氮化jia生產(chǎn)中。

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